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VSH Smartline数字规系列 真空规

ꄴ前一个： VRC 电子真空开关
ꄲ后一个： VSM Smartline数字规系列 真空规

产品优点

  • 宽量程皮拉尼传感器/Bayard Alpert
  • 皮拉尼自动控制热阴极传感器
  • 带延展范围的皮拉尼传感器可以保证热阴极在低压范围内运行，延长使用寿命
  • 高精度和良好的可重复性
  • 对真空过程中较少的温度和电子干扰
  • 测量室体积小，例如VSH88D是20cm3
  • Bayard-Alpert防气流、镀钇双灯丝
  • 对空气突入不敏感
  • 两个独立无源继电开关点
  • 可显示仪器状态和开关点的LED
  • 自带存储校准数据的传感器探头可以更换
  • 通过分别的皮拉尼和热阴极传感器的不同气体的校正参数可以确保正确的压力读数
  • 可以连接Thyracont公司生产的2通道或4通道的真空计VD12/VD10
  • RS485数字接口和其它模拟输出信号1.219-8.6V或EtherCAT
  • 通过按键或通讯接口数字调整零点和大气压
  • 大型集成LCD显示，带背景照明（VSH88DL、VSH89DL）
  • 如果出现错误，屏幕闪烁红色，正常工作状态是绿色(VSH88DL，VSH89DL)
  • 和PLC连接方便
  • 数字输出信号可以远程无错传输（最远距离500米）
  • 波特率9.6kbit/s到115kbit/s
  • 金属外壳，防电磁干扰，结实耐用
  • 真空连接：DN 40 ISO-KF不锈钢法兰或DN 40 CF-F法兰
 

 

技术参数

测量原理 皮拉尼/BayardAlpert（和气体类型相关）
真空接触材质 不锈钢1.4307、Ni、W、PL、钇涂铱、玻璃
测量范围 1000到5×10-10mbar（750到5×10-10torr），最大过压4bar绝对压力
精度 1000到10mbar:<读数的30%
10到1×10-8mbar:<读数的10%
重复性 ±2%（10到1×10-2mbar），5%（1×10-2到1×10-8mbar）
响应时间 <200ms（2秒当打开BA发射电流）
放射电流 自动开关10μA,100μA，1mA，2mA
脱气 阳极电阻加热
供电电压 20到30VDC
电气连接 VSH88D/DL,VSH89D/DL:SubD,15针,公头,可锁
VSH88E,VSH89E:M12圆形接头,母头,可锁
1xA标准,5针,2xD编码,4针
功耗 最大8W，另外脱气1w，EtherCAT/继电器/LCD另需0.8w
操作温度 +5到+60℃
存储温度 -40到+65℃
最高烘烤温度 法兰处180℃（电气分离）
输出信号 0到10VDC，测量范围1.219-8.6VDC，对数，0.6V/量级
负载电阻>10KΩ(VSH88D/DL,VSH89D/DL)
串行接口 RS485:9.6kBit/s到115kBit/s，开关地址1-16
开关点 2个开关继电器，50VAC/2A,30VDC/2A,最大60VA
真空连接 DN40ISO-KF（VSH88),DN40CF-F（VSH89)
防护等级 IP54（VSH88E,VSH89E),IP40(VSH88D/DL,VSH89D/DL)
重量 约555克

 

典型应用

  • 分析技术
  • 镀膜设备和气相沉积
  • 溅射工艺
  • 从高真空到超高真空的测量和控制
  • 真空炉
  • 工艺工程
  • 空间模拟腔

产品代码

 

  • VSH88D
    皮拉尼/Bayert Alpert 复合规，1000到5×10-10mbar，DN 40 ISO-KF，输出0-10V对数和RS485

  • VSH88DL
    同VSH88D，带LCD显示

  • VSH88E
    同VSH88D，输出RS485和EtherCAT

  • VSH89D
    皮拉尼/Bayert Alpert复合规，1000到5×10-10mbar，DN 40 CF-F，输出0-10V 对数和RS485

  • VSH89DL
    同VSH89D，带LCD显示

  • VSH89E
    同VSH89D，输出RS485和EtherCAT

  •  

  • 配件

  • SLN4
    Plug-in电源24V
  • SLKUSB
    RS485和USB转换头
  • VGR
    VacuGraph™软件 Windows版
  • W1515002
    VD12和VD10连接线，带屏蔽， 2米
  • W1515006
    同W1515002， 6米
  • W1515020
    同W1515002， 20米
  • 可替换的传感器探头
    B_VSH88，B_VSH89
Thyracont-Smartline-Vakuumtransmitter-VSH89DL-2547-48
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