VSM Smartline数字规系列 真空规
产品优点
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技术参数
| 测量原理 | 皮拉尼/倒置磁控（两者皆与气体类型相关） |
| 真空接触材质 | 不锈钢1.4307、镍，钨，钼，玻璃，陶瓷 |
| 测量范围 | 1000到5×10-9mbar（750到5×10-9torr）， 最大过压4bar绝对压力 |
| 精度 | 1000到10mbar:<读数的30% 10到2×10-3mbar:<读数的10% 2×10-3mbar到1×10-8mbar:<读数的25% |
| 重复性 | 10到1×10-2mbar，约读数的±2% 1×10-2mbar到1×10-8mbar:约读数的±7% |
| 响应时间 | 200ms（1s激活冷阴极） |
| 阴极电压 | 最大2.5kV |
| 供电电压 | 20到30VDC |
| 电气连接 | VSM77D/DL,VSM79D/DL:SubD,15针,公头,可锁 VSM77E,VSM79E:M12圆形接头,母头,可锁 1xA标准,5针,2xD编码,4针 |
| 功耗 | 最大3W，EtherCAT/继电器/LCD另需0.8w |
| 操作温度 | +5到+60℃ |
| 存储温度 | -40到+65℃ |
| 最高烘烤温度 | 法兰处160℃（电气分离） |
| 输出信号 | 0到10VDC，测量范围1.819-8.6VDC，对数，0.6V/量级 负载电阻>10KΩ(VSM77D/DL,VSM79D/DL) |
| 串行接口 | RS485:9.6kbit/s到115kbit/s，开关地址1-16 |
| 开关点 | 2个开关继电器，50VAC/2A,30VDC/2A,最大60VA |
| 真空连接 | DN25ISO-KF（VSM77),DN40CF-F（VSM79) |
| 防护等级 | IP54（VSM77E,VSM79E),IP40(VSM77D/DL,VSM79D/DL) |
| 重量 | 约555克 |
典型应用
- 分析技术
- 镀膜设备和气相沉积
- 真空炉
- 工艺工程
- 高真空和超高真空的测量和控制
- 溅射工艺
产品代码
- VSM77D
皮拉尼/倒置磁控复合规，1000到5×10-9mbar，DN 25 ISO-KF，输出0-10V 和RS485 - VSM77DL
同VSM77D，带LCD显示 - VSM77E
同VSM77D，RS485输出和EtherCAT - VSM79D
皮拉尼/倒置磁控复合规，1000到5×10-9mabr，DN 40 CF-F，输出0-10V 和RS485 - VSM79DL
同VSM79D，带LCD显示 - VSM79E
同VSM79D，RS485输出和EtherCAT
配件
- SLN4
Plug-in电源24V - SLKUSB
RS485和USB转换头 - VGR
VacuGraph™软件 Windows版 - W1515002
VD12和VD10连接线，带屏蔽，2米 - W1515006
同W1515002，6米 - W1515020
同W1515002，20米 - 可替换的传感器探头
B_VSM77，B_VSM79
