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GasCheck G4
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氦气检漏仪ELD500
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有源倒置磁控管真空计
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有源皮拉尼真空计
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nES 单级旋片泵
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E2M 40-275 旋片式真空泵
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DIGITEL 离子泵控制器
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钛升华泵
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离子泵
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HyTan NEG-离子泵
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STP 磁悬浮涡轮分子泵
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T-Station 涡轮分子泵小车
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nEXT涡轮分子泵
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RV油封旋片泵
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D-Lab 隔膜泵
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XDD1 隔膜泵
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mXDS 干式涡旋泵
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nXLi 干式多级罗茨泵
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nXRi 干式多级罗茨泵
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XDS 干式涡旋泵
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光学气体分析仪 Quantus® LP100
INFICON Quantus LP100 气体分析仪为您的关键过程环境提供实时泄漏检测和端点检测。许多过程对泄漏都很敏感，或要求进行终点检测。Quantus LP100 是一种气体分析仪，专门用于实时应对敏感过程环境中的细微变化，以最大限度地减少报废，提高产出。
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光学气体分析仪 Augent® OPG550
INFICON Augent® 光学等离子体真空计是一种紧凑、智能的真空监测解决方案。Augent将两种传感器技术结合到一个紧凑的设备中，用于监测1 x 10-7至5 mbar的气体类型，并同时测量从1 x 10-7 mbar到大气的总压力。

Augent由一个集成的皮拉尼传感器保护，用于关闭20mbar以上的等离子体。快速光学测量原理原则上允许检测任何类型的气体。
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光学气体分析仪 Quantus® HP100
INFICON Quantus HP100气体分析仪基于自等离子体光发射光谱技术（SPOES），旨在提供半导体制造过程中的实时泄漏检测、端点检测和过程监控。Quantus HP100具有出色的灵敏度，外形紧凑，提供宽广的操作压力范围，无需昂贵的泵，因此非常适合大多数半导体工具的过程监控和保护。
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六角螺栓套组
INFICON ISO-F 优质接头按照 ISO 1609、DIN 28404 和 Pneurop 6606 标准制造。我们的优质大直径接头是所有真空和高真空度管路应用的标准真空元件。高质量 INFICON 接头经过精心设计，通过了泄漏速率低于 1 x 10-9 mbar l/s 的测试。
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四通 - 不锈钢 304L
INFICON CF 优质接头按照 ISO 3669 和最新的 TS/ ISO 3669-2 标准制造。INFICON 超高真空接头设计用于压强低至 1 x 10-12 mbar 和烧烤温度高达 400°C 的应用。
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测量法兰，铝质
INFICON ISO-F 优质接头按照 ISO 1609、DIN 28404 和 Pneurop 6606 标准制造。我们的优质大直径接头是所有真空和高真空度管路应用的标准真空元件。高质量 INFICON 接头经过精心设计，通过了泄漏速率低于 1 x 10-9 mbar l/s 的测试。
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旋转馈入装置 ISO-KF/ISO-K
INFICON 的各种机械馈入装置为所有苛刻的应用提供了正确的设备，无论它是否适用于此，比如：在涂层应用室或实验室条件下的应用研究项目。

可用法兰设计 ISO-KF / ISO-K 和 CF 与我们的接头管对应。所有馈入件都适合用于泄漏速率不超过 1 x 10-9 mbar l/s 的真空系统。对于 UHV，还可提供全金属设计的馈入件。
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带蝶形螺母的夹环
INFICON ISO-KF 接头按照 ISO 2861/1、DIN 28403 和 Pneurop 6606 标准制造。我们的优质接头是所有真空和高真空度应用的标准元件。高质量 INFICON 元件经过精心设计，通过了泄漏速率低于 1 x 10-9 mbar l/s 的测试。
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Transpector® APX ALD 单压力残余气体分析仪
实时减少废品，提高产量
INFICON Transpector APX 是用于半导体和显示器制造过程监控市场领先的残余气体分析仪 (RGA)。INFICON 深知半导体和显示器客户有着独特的需求，Transpector APX 的最新修订版在保持行业领先的测量速度和灵敏度的同时，提供了更大的灵活性以满足特定的应用要求。Transpector APX 是用于 ALD、CVD、PVD 和蚀刻等半导体工艺的理想 RGA 过程监控器。

下一代 Transpector APX ALD 单压入口系统设计用于在 ALD 或 PECVD 等容易产生颗粒或涂层的制程化学中生存。这允许在所有关键工艺步骤中进行连续监测，以捕获数据点。此外，入口温度可控，可抵御腐蚀性气体，这对于腔室清洁终点监测应用至关重要。
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Transpector® MPS
随着制造技术的进步和质量标准的变更，了解相关过程和保持产品质量比以往任何时候都显得更为重要。Transpector MPS 能够通过过程条件监控、污染检测和泄露检查，帮助您优化过程。Transpector MPS 为客户提供了 Transpector 品牌可靠的、价值非凡的 RGA 性能。

Transpector MPS 提供 100 amu 和 200 amu 型号，使您能够灵活地执行一般泄露检测、真空诊断和碳氢化合物分析等各种功能。此多功能性使 Transpector MPS 成为真空炉、热处理和真空涂层应用的理想选择。
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Transpector® MPH
持续上升的硅晶圆价格以及对成品的需求意味着废弃晶圆需要付出前所未有的代价。因此，在半导体制造中心了解过程并监测缺陷也变得更加重要。Transpector MPH 气体分析系统专门用于让您的系统在所有气体分析应用中都实现业内一流的性能，有助于最大限度地提高芯片产量，降低工具停工时间。Transpector MPH 兼具总拥有成本低和平均故障间隔时间长的优点，在帮助您赢利方面的作用优于市面上的任何其他残余气体分析仪 (RGA)。

INFICON 利用在气体分析过程控制设备领域的专长制造的 RGA 具有行业领先的数据采集速度，可检分压强和信噪比最低。所有这些特性都不会牺牲 INFICON Transpector 气体分析仪一贯出色的可靠性。
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Transpector® XPR 3+
监测并控制快速过程变化
新的 Transpector XPR 3+ 残余气体分析仪 (RGA) 提供业内领先的测量速度，以监测并控制现代半导体和显示屏生产所需的快速过程变化。Transpector XPR 3+ 非常适合于现场空气漏点、气体纯度、碳氢化合物和污染监测。相比定期上升率测试，Transpector XPR 3+ 进行的实时测量可提供卓越的产品保护
通过最大化工具使用时间促进盈利能力
Transpector XPR 3+ RGA 是用于溅射压力范围应用的经实践验证的四极和双离子源传感器。无需压力转换设备，部件使用寿命长，能快速检测并诊断问题，从而最大化工具可用性、产品吞吐量和产量。传感器可在高真空到 20 mTorr 范围连续工作，无需泵。Transpector XPR 3+ 双离子源腔室设计用于限制涂层，以保持离子源灵敏度，并延长传感器平均维护时间。
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真空开关 VSC150A
INFICON 真空开关 VSC150 是一个绝对压力开关，带有 0.5 - 2000 mbar 的可调节电气开关触点。其机械设计允许出现 3000 mbar 的短时高温过载现象，而不会危及 ± 0.1 mbar 的开关准确度。INFICON 可为压力开关提供客户特定调节功能。
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真空开关 VSA100A 环境压差
INFICON 真空开关 VSA100A 作为安全开关广泛应用于真空系统中。例如，在使用压力低于大气压 6 mbar 的吹扫气体对真空系统排气时，该压力开关可自动中断气体供应。当差压为 6 mbar 且返回切换压力比大气压低 3 mbar 时，弹性膜片将激活转换接点，而该接点又可用来直接切换任何辅助设备。
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真空开关 VSD200
INFICON 真空开关设计用于准确而可靠地测量压力。这些坚固的电子开关可用于所有真空，包括压力联锁。开关有两种版本：绝压型（基准为真空）或差压型（基准为环境）。
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VSA200真空开关
INFICON真空开关设计用于准确可靠的压力检测。这些坚固的电子开关用于所有真空应用，包括压力联锁。

开关有两种版本，绝对（参考真空）或差分（参考环境）。
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皮拉尼真空计 PCG55x
INFICON 皮拉尼电容膜片式测量仪 (PCG55x) 将 INFICON 皮拉尼技术与陶瓷电容膜片传感器的优点结合在单一产品中。

在 10 mbar 和大气压力之间的测量范围内，电容隔膜技术不受气体类型限制，能够提供高度精确的可靠压力测量值。PCG55x 还拥有各种功能，可针对条件苛刻的应用进行正确的产品配置。
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皮拉尼真空计 PCG55x
INFICON 皮拉尼电容膜片式测量仪 (PCG55x) 将 INFICON 皮拉尼技术与陶瓷电容膜片传感器的优点结合在单一产品中。

在 10 mbar 和大气压力之间的测量范围内，电容隔膜技术不受气体类型限制，能够提供高度精确的可靠压力测量值。PCG55x 还拥有各种功能，可针对条件苛刻的应用进行正确的产品配置。
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热电离真空计 BAG302
INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG302 涵盖从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）的广泛测量范围。紧凑型一体化热电离真空计 BAG302 能够轻松地更换双丝极传感器、内置 OLED 显示器、设定点继电器和对数线性模拟输出以及集成 RS485 数字接口，提高了集成灵活性。这些功能配以坚固的设计，使 BAG302 为其自身的基本压力测量仪器带来经济且可重复的过程，并提供高价值/低拥有成本的选择。
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冷阴极真空计 MPG40X
INFICON 倒泵控管 Pirani 真空计 MPG400 和 MPG401 测量范围为 5 x 10-9 mbar 至大气压力（3.8 x 10-9 Torr 至大气压力）。将多项技术融入带有一个对数模拟输出信号的单个紧凑型装置中，显著降低了安装、设置和集成的复杂性。
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热电离真空计 BPG400
INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG400 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中，测量范围为 5×10-10 mbar至大气压（3.8×10-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。选择 BPG400 单一经济型封装，在低成本、可重复的过程中进行基础压力测量。
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皮拉尼真空计 PSG5xx
INFICON Pirani 标准真空计 PSG500、PSG502-S、PSG510-S 和 PSG512-S 采用当今市场上最先进的数字 Pirani 技术，不锈钢传感器单元坚固耐用，结构设计紧凑，适用于半导体系统和标准应用，例如前级真空管。
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电容式压力计 Porter™ CDG020D
INFICON Porter™ CDG020D 电容式隔膜真空计是一种高质量、高成本效益、不受气体类型限制的绝压传感器。Porter 设计用于在工业环境中获得稳定的长期性能。陶瓷传感器能长期提供出色的量程稳定性，免维护运行且具有不同凡响的零位稳定性。单一材料传感器结构保证了出色的温度补偿性能。全数字电子元件和小巧的外形注定它能够灵活地用于任何集成。Porter 真空计简单可靠，始终保持可用且物有所值。
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氦气 泄漏检测仪 UL1000 Fab
INFICON UL1000 Fab 氦气检漏仪是工业或半导体环境中经济型氦气真空泄漏检测的公认标准

通过仪器的干式泵技术，可以消除被测部件或设备被碳氢化合物或颗粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高稳健性和经济性之间提供了最佳的性价比。它提供最先进的 10-12 mbar·l/s 检测极限，具备合理的短抽气时间和响应时间的特点。紧凑的设计提供了高度的机动性，方便进入空间有限的维修区域。可选的背景抑制（iZERO）功能能够在2秒内实现低于现有背景水平状态持续进行泄漏测试
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氦气 泄漏检测器 UL6000 Fab
INFICON UL6000 氦气检漏仪旨在满足最为苛刻的泄漏检测应用的要求。UL6000采用INFICON专有软件算法I·CAL和HYDRO·S，采用经过现场验证的真空设计，提供了测试灵活性、高灵敏度和快速准确的结果，使任何泄漏检测应用程序快速而简单。

UL6000 在所有测试范围内均可实现快速响应，从达到测试条件到获得最终结果的整个周期时间极其短暂。此专门设计的真空架构可以提供持续高速的氦气泵速以及极其快的响应，能够满足您的需求。
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氦气 泄漏检测器 UL3000 Fab Series
专门为半导体应用中的检漏需求而设计。

它具有灵活性、移动性、快速启动、高灵敏度、快速和精确的测试结果以及可靠性。

由于更高的空气泵送速度，更快的泵降（排空）时间。
由于低维护的根部粗加工泵，总拥有成本（TCO）更低。
由于HYDRO-S软件消除了水蒸气背景，更早地开始检漏，使得快速达到敏感测量范围成为可能
UL3000 Fab ULTRA还通过使用成熟的吸污管线SL3000提供了改进的吸污能力，该吸污管线长度可达10米。SL3000有一个单独的连接端口，因此不需要连接到真空入口。
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氦气 泄漏检测仪 UL1000
速度、灵敏性和可靠性满足高要求的泄漏检测应用
INFICON UL1000 移动式氦气检漏仪旨在满足最为苛刻的工业泄漏检测应用的要求。在低维护设计中提供快速、精确且可重复的测试结果、测试灵活性和高灵敏度，UL1000 可以应对工业中可能面临的最艰巨的泄漏检测作业。UL1000 经过优化，可以为任何应用提供快速、精确的结果，从大型容器和系统泄漏检测，到最严峻的工业环境下全天候高循环、重复性的元件测试，均可满足。

UL1000 氦气检漏仪新增了 TC1000 试验室附件，可以轻松、快速且准确地测试密封零件（如 IC 封装、石英晶体和激光二极管）的泄漏

(符合 MIL-STD 883、Method 1014 标准) 。
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真空计控制器 VGD500
INFICON 真空计显示器 VGD500 可连接到我们的 CDG 产品系列以获得 4 位显示。这种小巧的装置用于显示仪表的压强。压强读数可以选择 Torr、mTorr、mbar 或 Pa 为单位。
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西安科盟真空技术有限公司是一家集设计、生产、销售与服务为一体的科技型真空技术工程企业，是西部地区较有影响力的真空产品集成商。公司业务主要分为代理知名品牌产品和成套真空装置集成两方面。

西安科盟为以下品牌的官方授权代理商：Edwards爱德华真空及全系列产品、INFICON英福康真空测量及检漏等全系列产品。

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