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VSR Smartline数字规系列 真空规

ꄴ前一个： VSP Smartline数字规系列 真空规
ꄲ后一个： VD12 双通道真空真空计（显示控制器）

产品优点

  • 宽量程皮拉尼/压阻传感器的结合
  • 全量程范围内的高精度和最佳分辨率
  • 两个独立、无源继电开关点
  • 响应时间短
  • 良好的可重复性和长期稳定性
  • 测量室体积小，例如VSR53D是2cm3
  • 金属密封不锈钢测量室，适合超高真空应用
  • 金属网屏保护灯丝防油、防溶剂蒸汽
  • 优化的温度补偿确保了测量的稳定性
  • 自带存储校准数据的传感器探头可以更换
  • 20mbar以上的测量不受气体类型的影响，可调皮拉尼传感器气体类型修正参数
  • 可显示仪器状态和开关点的LED
  • RS485数字接口和其它模拟输出信号1.5-8.58V或EtherCAT
  • 通过按键或通讯接口调整零点和大气压
  • 大型集成LCD显示，带背景照明（VSR53DL，VSR54DL）
  • 如果出现错误，屏幕闪烁红色，正常工作状态是绿色（VSR53DL，VSR54DL）
  • 和PLC连接方便
  • 数字输出信号可以远程无错传输（最远距离500米）
  • 波特率9.6kBit/s到115kBit/s
  • 金属外壳，抗电磁干扰，结实耐用
  • 防护等级IP54（VSR53E/VSR54E)
  • 可以连接Thyracont公司生产的2通道或4通道的真空计VD12/VD10
  • 真空连接：DN16 ISO-KF不锈钢法兰或DN16 CF-F法兰
 

 

技术参数

测量原理 薄膜压阻／皮拉尼
真空接触材质 不锈钢1.4307、镍、金、氧化硅、钨、玻璃
测量范围 1200到1×10-4mbar（900到1×10-4torr），最大过压4bar，绝对压力
精度 1200到10mbar:±0.3%满刻度10到2×10-3mbar:读数的±10%
重复性 1200到10mbar：±0.1%满刻度10到2×10-3mbar：读数的±2%
响应时间 1200到10mbar：<30ms（压阻）10到2×10-3mbar：<100ms（皮拉尼）
供电电压 20到30VDC
电气连接 VSR53D/DL,VSR54D/DL:SubD,15针,公头，可锁
VSR53E,VSR54E:M12圆形接头,母头,可锁
1xA标准,5针,2xD编码,4针
功耗 2.5W，EtherCAT/继电器/LCD另需0.8W
操作温度 +5到+60℃（相对湿度最大80%/30℃，无冷凝）
存储温度 -40到+65℃
最高烘烤温度 法兰处125℃
输出信号 0到10VDC，测量范围1.5-8.58VDC，对数，1V/量级
负载电阻>10KΩ(VSR53D/DL,VSR54D/DL)
串行接口 RS485:9.6kBit/s到115kBit/s，开关地址1-16
开关点 2个开关继电器，50VAC/2A,30VDC/2A,最大60VA
真空连接 DN16ISO-KF（VSR53),DN16CF-F（VSR54)
防护等级 IP54（VSR53E,VSR54E),IP40(VSR53D/DL,VSR54D/DL)
重量 220克（VSR53D）

 

典型应用

 

 

 

 

 

 

  • Load Lock
  • 分析仪器
  • 镀膜设备
  • 真空炉
  • 检漏
  • 低真空泵的运行控制
  • 工艺工程
  • 质谱仪
  • 真空系统的安全回路

  • 产品代码

  • VSR53D
    压阻-皮拉尼复合真空规，1200到1×10-4mbar，DN16 ISO-KF，输出RS485和0-10V
  • VSR53DL
    同VSR53D，带LCD显示
  • VSR53E
    同VSR53D，RS485输出和EtherCAT
  • VSR54D
    压阻-皮拉尼复合真空规，1200到1×10-4mbar，DN16 CF-F，输出RS485和0-10V
  • VSR54DL
    同VSR54D，带LCD显示
  • VSR54E
    同VSR54D，RS485输出和EtherCAT
  • SLN4
    24V，Plug-in电源
  • SLKUSB
    RS485-USB转接头
  • VGR
    VacuGraph™软件，Windows版
  • W1515002
    VD12和VD10连接线，带屏蔽，2米
  • W1515006
    同W1515002，6米
  • W1515020
    同W1515002，20米
  • 可替换传感器探头
    B_VSR53， B_VSR54
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