ISO 法兰组件

ISO 配件在半导体加工中提供很高的耐腐蚀性，在低至高真空应用范围内提供出色的可重复性。法兰使用夹爪或螺栓与氟橡胶或丁腈定心环和 O 型圈连接。

• 按照 ISO 1609 和 DIN 28404 标准制造
• 标称直径 40-630 mm
• ISO-F 法兰具有固定孔型
• ISO-K 法兰通常用夹爪连接，可使用可旋转的套环或半爪转换成/连接到 ISO-F
• 用于高真空应用：压力 >10^-8 mbar

双爪夹具卡入法兰周围的圆形槽中并固定，以提供简单但安全的法兰连接。更传统的方法是使用一系列螺栓孔和带可旋转或固定式套环法兰的螺母/螺栓。