如何为您的应用选择理想的泄漏检测方法

每个应用和生产过程在泄漏检测方面都有自己的需求和要求。在不 同的行业，质量控制和最大泄漏率都有不同的标准。因此，为每个应用选择最佳的泄漏检测方法至关重要。

在过去几年中，使用空气或示踪气体的泄漏检测技术在电子设备领 域取得了重大进展。新技术、灵敏度提高和测试周期更快 — 所有 这些技术进步都提高了不同泄漏测试方法的质量和可靠性。下面将 介绍这些方法的优缺点及其对不同泄漏检测应用的适用性以及选择 标准方面的专业建议。

泄漏检测技术 — 概述

在提供指南为您的应用选择合适的泄漏测试方法之前，本文中讨论 的不同技术将在概述中进行简单介绍：

• 在压力条件下使用微流量传感器进行空气泄漏测试

该技术以使用加速流的集成微型传感器为基础。当空气从被测组单元或组件泄漏时，通过微流量传感器补充空气损失，以保持恒定的压力（见图 1）。损耗导致电信号与体积流量、质量流量分别成比例。微流量传感器因此与压力容器一起运行，并具有 5·10^-4^mbar l/s 的灵敏度，压力容器用于给被测单元 (UUT) 加压。这种测试方法通常只需要简单的固定装置。

扇形场质谱仪的工作原理

• 使用批量提取（真空条件）进行空气泄漏测试

微流量传感器技术的一种特殊形式叫做批量提取技术。其基本原理与微流量方法相似，但为了达到更高的灵敏度，在真空条件下进行测试。该方法集成了传感器设计，可以在连续体/滑流条件（较低真空）和过渡/分子流状态（较高真空）下运行。该技术可用于包装或电子机箱等密封容器的泄漏测试。将被测单元置于压力条件低至 1 mbar 或更低的真空室中。在真空室抽真空之后，真空室和真空容器之间的余流可用于确定被测零件的泄漏率（见图 2）。凭借该方法，灵敏度可高达 6.7 · 10^-7 mbar l/s。

• 氦气泄漏检测

由于其相对简单、坚固的设计，扇形场质谱仪用于使用示踪气体的泄漏检测。通常调谐到氦气 4u 的检测质量，气体分子通过电子轰击在离子源中离子化，然后使用电子电压加速到扇形磁场。或者，也可以使用质量为 2u 的氢气来进行这种泄漏测试。

氦或氢分子能够通过专用狭缝以到达检测器，而所有其它现有分子不能通过并因此被重新中和。测量的离子电流与气体分压成正比。真空环境中的氦气灵敏度为 5 · 10^-12 mbar l/s。