标准机组

半导体干泵机组的复合系统抽气能力高，极限真空泵度高，提高生产效率、运行成本低、能耗低、出口温度低。

可选侧排气或下排气，无废液排放、占地面积小、使用寿命长。

纯干式设计，对抽取介质几乎为零的污染

卓越的密封设计，油箱与泵腔几乎为零的泄漏

流道无油、无水、无废油、废水排放

操作简单，易于使用、易于维护

典型应用：半导体、光伏、等离子、干燥、镀膜、石化、冶金、食品。