钛升华泵
钛升华泵
其工作原理是加热钛丝并将钛分子升华（从固相转变为气相）到表面。
然后，升华的钛分子可与氧气和氮气等反应气体发生化学反应，并使氢气分离和扩散出来。
TSP 可在 10-5 至 10-12mbar 的范围内运行，氢气抽取速度超过 10000 l/s。
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