离子泵

离子泵也称为溅射离子泵或离子吸气泵。

这是使用阳极/阴极阵列来电离气体的捕集泵。

离子溅射反应性阴极材料，产生化学反应将电离气体转化为固体化合物。这些化合物不再对真空系统的压力产生影响，并被捕获在离子泵内。

离子泵可以在 10^-5至 10^-12mbar 的范围内运行，氮气抽取速度为 0.2 至 1200 l/s。