HyTan NEG-离子泵

NEG 泵可以对 H₂ 以及 N₂、O₂ 和 CO 等化学活性气体高速抽吸，离子泵可以高效地抽吸各种气体组分，包括惰性气体和甲烷。HyTan NEG-离子泵将这两种技术组合到一款紧凑型 UHV 泵中。

借助可更换模块，NEG 泵提供 100 – 500 l/s 的氢气抽速范围，而离子泵模块采用卓越的传统二极管元件，这种创新技术适用于各种 UHV 应用。

HyTan NEG-离子泵尺寸紧凑，并且可以将泵组装到腔室中，因此非常适合空间受限的 UHV 环境。