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XDS 干式涡旋泵

已成为必须使用干式泵送方式时的行业标配设备,泵送速度高达 40 m3h-1,已在多种应用中被证明是一种可靠且清洁的真空泵解决方案。

  • 更进一步!

结合获得专利的双启动涡旋形式技术和旁通阀,Edwards 得以提供 XDS35i 增强型系列泵,以补充我们原有的产品系列

 

XDS35i 采用智能驱动技术来管理泵,并在全球范围内提供一致的性能。

 

降低了粗抽压力下的峰值电力需求,并持续提高粗抽速度:这些增强型泵使用户能够解决性能问题,并非常适用于那些对于粗抽性能或抽空大腔室容量的能力要求较高的特殊应用。

 

增强型装置在初始抽空期间可减少多达 20% 的峰值电力需求:意味着它能够在不损失性能的情况下抽空大容量腔室。

 

在这些粗抽压力下泵送速度可提高达 25%,这也有助于提高应用的循环频率。

XDS 的优势!

  • 轴承护罩:确保工艺气体和轴承润滑分离,以保证清洁真空环境并使润滑进程不被工艺气体污染,从而延长轴承使用寿命。
  • 智能电动机驱动:意味着全程稳定的性能、泵过载保护远程启动/停止功能。
  • 高流速气镇:允许泵送蒸气,包括以高达 240 gh-1 的流速泵送水蒸气。
  • 简便的单侧涡旋设计:可在数分钟内完成维护,以降低拥有成本并尽可能延长正常运行时间
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