Transpector® APX ALD 单压力残余气体分析仪

优势

• 针对特定应用的平台设计，为您的ALD或CVD工艺提供最长的使用寿命，实现最佳的晶圆和面板保护以及工艺优化
• ALD准备就绪，测量速度超过每秒550个数据点
• 由于采用高性能泵系统，工厂占地面积减少 30%，安装更加简便
• 温控入口采用 INFICON 专利涂层，用于离散压力入口，可承受苛刻的腐蚀性化学物质
• 自动校准确保传感器与传感器、工具与工具腔室匹配的长期数据可靠性和准确性
• Transpector APX 与 FabGuard® 软件集成后成为强大的过程监控和诊断工具，并由 INFICON 世界级应用专家提供支持