Transpector® XPR 3+

优势

• 从高真空到 PVD 流程压强条件下，能够高灵敏度地检测空气泄漏和污染，实时保护晶圆和面板
• 最大化 PM 效率和工具正常使用时间，具有快速可靠的腔室条件
• 通过延长使用寿命、防污染、双离子源设计最小化总体拥有成本；无需泵，即可监测高达 20 mTorr 的压强。低压 EM 变体可提供成本敏感的替代选择
• 通过强大数据采集与同步实现无缝工厂集成和可靠阻断
• 通过定制配方优化增强独特生产能力
• 通过即时现场专家响应保护关键过程需求

典型应用

• PVD 和溅射过程模块
• 预清洗模块
• 非群集 PVD 工具
• 夹钳式除气模块