热电离真空计 BAG302
优势
- 测量范围从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）
- 双标准长使用寿命氧化钇铱丝
- 一体式主动测量仪，内置显示器、设定点、模拟输出和标准集成式 RS485 数字接口
- 带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏，简化设置、操作和编程
- 用户可编程的设定点继电器
- 用户可编程的显示器单位：mbar、Torr 或 Pa
- 用户可选的发射电流自动设换范围
- 机械强度和坚固性
- 各种法兰的选择
- 易于更换的传感元件
- 合规和标准：CE、RoHS
- 直接取代 Granville-Phillips® 354 Micro-Ion® 模块 – 包括软件命令在内的相同控制功能 (RS485)（Granville-Phillips® 和 Micro-Ion® 是 MKS Instruments, Andover, MA 的注册商标）
典型应用
- 对半导体过程和传输腔室的压力测量
- 工业镀膜
- 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制
