热电离真空计 BPG400

优势

• 从 5 x 10^-10 mbar 至大气气压（3.8 x 10^{-10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围}
• 在 10^-8 … 10^-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
• 皮拉尼联锁保护 Bayard-Alpert 系统在高压操作下丝极过早烧毁和过度污染
• 长使用寿命氧化钇铱丝
• 备有可选的图形显示器和现场总线接口
• 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预
• 符合 RoHS 标准
• 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

典型应用

• 对半导体过程和传输腔室的压力测量
• 工业镀膜
• 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制