优势
- HYDRO-S (HYDROgen-Suppression) 能够快速达到测试条件。
- UL6000 Fab PLUS - 其他优势
- 拥有I-RISE，智能上升率： 提供设备内压力上升测试，并结合氦气喷射（喷氦）方法
- 在10秒内完成上升率的测量
- 有助于最大限度地减少泄漏测试和工厂设备维护的一般时间
- 更快，更精确
- I-CAL（智能 - 泄漏率计算算法） 确保对所有测试范围内的泄漏做出快速响应。
- 特殊的多进口涡轮分子泵可以在所有压力下提供最佳氦气泵速和高氦气压缩率，从而提供卓越灵敏度、快速响应和清洗。
- 涡轮分子泵可以对任何测试对象（包括最大容量和最大腔室）提供极其快速的响应。
- 经过验证的 INFICON 扇形磁场质谱仪采用无故障、免维护设计，历经数年仍可提供准确且可重复的结果。
- 自我保护功能可保护 UL6000 免受氦气和粒子污染，甚至还设有自动冲净周期，确保 UL6000 随时可用。
- 旋转式显示器/控制接口和可选远程手动控制器提供操作灵活性。
- 可通过软件启用对装置和系统软件的访问控制，从而阻止未经授权地使用或意外修改测试设定。
- 通过电子邮件升级软件，确保您的 UL6000 始终处于最佳工作状态。
- 新型工作站设计，带有最佳高度的工作台面，并且配备有防静电台垫和工具箱，便于测试。
典型应用
- 半导体和平板显示器工具上的测试元件、部件和大型腔室泄漏测试
- 半导体和平板显示工具的泄漏测试
- 航空元件、部件和系统的泄漏测试
- 储存容器/储罐的泄漏测试
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