粉尘吸附阱
通过改变粉尘的物理状态收集粉尘, 有System Trap, Foreline Trap等。可使用水冷，
风冷，热蒸发，重力及离心力，吸附剂，催化剂等方式处理粉尘。
主要性能：
拦截粉尘，避免工艺运行过程中泵异常卡死
延长干泵运行寿命
防止回流污染主工艺腔室
降低工艺设备宕机率，提高客户产能
加热套、管道涂层成本最小化
防止排气堵塞
主要应用行业：Semi、FPD、Solar、LED
主要应用工艺：Tin-CVD, Metal-etch, ALD, SIN,BPSG, Nitride, W-CVD
※ 粉尘吸附阱容量:
小: 10L, 20L, 25L / 中: 30L, 40L, 50L, 57L , 60L / 大 : 80L, 90L, 100L, 200L
