新型等离子无水尾气处理器
采用高温等离子火焰以及催化剂，提供出色的气体处理性能（如处理PFC气体），
而又不产生任何废水 – 干式解决方案
无害于环境的尾气处理设备
出色的气体处理效率
低功耗，高性能
耐火/防腐蚀技术
无废水排放的解决方案
低运行成本
完全自动模式，使用简便
主要应用工艺：ICP/Etch/厂务等
系列※ NPCR1000T2/T3
Copyright ©2014-2021 西安科盟真空真空技术有限公司 陕ICP备2021007659号
