等离子水洗尾气处理器
通过弧光放电产生等离子火焰（超过3000℃ ），从而处理易燃易爆，有毒的以及PFC气体（温室气体）
低功率，高性能
出色的PFC气体处理效率
通过配置静电除尘系统，达到超过99%的副产物颗粒处理效率
等离子火炬使用寿命长
出色的防腐蚀设计
自动模式，使用简便
主要应用行业：Semi、FPD、Solar、LED
主要应用工艺：Etch/CVD等
系列※ NSPW600, NSPW1.5K, NSPW3K
