集设计、生产、销售与服务为一体的科技型真空技术工程企业

干式尾气处理器

通过与吸附药剂的化学反应完全非可逆地处理废气
处理特气效率完美
运营成本低,无废水
易维护&更换吸附桶方便
操作稳定,可PLC/Touch Panel自动控制
配置应急或备份吸附桶, 无缝切换
主要应用行业:Semi、FPD、Solar、LED
主要应用工艺:IMP/Etch/厂务等
                     吸附剂
系列※ NSOD50, NSOD100S/D, NSOD200S/D
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